半導(dǎo)體及電子制造中的機(jī)器視覺
視覺傳感技術(shù)機(jī)器視覺在半導(dǎo)體工業(yè)上的應(yīng)用早在二十年前就已開始，半導(dǎo)體、電子設(shè)備市場(chǎng)是機(jī)器視覺技術(shù)發(fā)源地并一直成為機(jī)器視覺賴以生存的巨大市場(chǎng)之一。半導(dǎo)體、電子制造業(yè)每一次技術(shù)上的飛躍如：晶圓越做越大，而內(nèi)部線路越做越細(xì)，向超細(xì)間距式器件挺進(jìn)；連接器體積越來越小，每分鐘生產(chǎn)線上需要檢測(cè)、測(cè)量器件的數(shù)量越來越多，都將伴隨著新一輪半導(dǎo)體、電子生產(chǎn)裝備的誕生。隨之必將產(chǎn)生新的質(zhì)量保證系統(tǒng)改善其生產(chǎn)率和保證零次品率，進(jìn)而促使機(jī)器視覺市場(chǎng)不斷發(fā)展壯大。機(jī)器視覺技術(shù)本身也隨著半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、自動(dòng)化等技術(shù)的發(fā)展而不斷完善、發(fā)展。
機(jī)器視覺的分類
半導(dǎo)體、電子制造中的機(jī)器視覺系統(tǒng)分為嵌入式系統(tǒng)和PC-Base系統(tǒng)兩類。
PC-Base系統(tǒng)一般由機(jī)器視覺標(biāo)準(zhǔn)配件包括工業(yè)用視覺光源、工業(yè)鏡頭、工業(yè)相機(jī)、圖像采集卡、機(jī)器視覺軟件和工業(yè)PC搭建而成，系統(tǒng)構(gòu)成復(fù)雜，需要具備光學(xué)、機(jī)械、自動(dòng)化、圖像算法及專業(yè)編程知識(shí)的技術(shù)人員來實(shí)現(xiàn)。一般情況下，硬件系統(tǒng)搭建完畢后，還要根據(jù)項(xiàng)目需求進(jìn)行二次開發(fā)后才能上線使用。而嵌入式系統(tǒng)則是光源（某些嵌入式系統(tǒng)會(huì)內(nèi)置）、鏡頭、相機(jī)、圖像采集處理功能和視覺圖像分析軟件的高度集成化，系統(tǒng)功能模塊化。有些嵌入式系統(tǒng)的軟件操作界面非常簡(jiǎn)單，按照軟件界面向?qū)гO(shè)置后就可以上線運(yùn)行。嵌入式視覺系統(tǒng)又有兩種名稱：智能相機(jī)（Smart Camera）、視覺傳感器（Vision Sensor）。智能相機(jī)相對(duì)于視覺傳感器，一般硬件處理速度更快、軟件功能模塊更為強(qiáng)大，可以適應(yīng)各種適合嵌入式系統(tǒng)的復(fù)雜視覺檢測(cè)應(yīng)用。當(dāng)然，智能相機(jī)（Smart Camera）與視覺傳感器（Vision Sensor）之間并沒有嚴(yán)格的劃分標(biāo)準(zhǔn)，我們都稱為視覺傳感器也沒有錯(cuò)。
PC-Base視覺系統(tǒng)和嵌入式視覺系統(tǒng)在半導(dǎo)體和電子行業(yè)都有廣泛應(yīng)用，需要根據(jù)系統(tǒng)需求來確定到底采用哪種視覺系統(tǒng)。嵌入式系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是速度快、性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)單、體積小巧，非常適合于對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)安裝空間要求非常嚴(yán)格、二次開發(fā)需求不是很強(qiáng)以及要求性能穩(wěn)定的場(chǎng)合。尤其是已有生產(chǎn)設(shè)備需增加檢測(cè)功能，提高設(shè)備附加值者，選擇嵌入式系統(tǒng)的性價(jià)比較高。世界知名機(jī)器視覺廠商或自動(dòng)化廠商如Cognex、Dalsa、Omron、Sick、Banner、Simens等都有嵌入式機(jī)器視覺系統(tǒng)大量應(yīng)用在半導(dǎo)體后段制程及電子行業(yè)。
半導(dǎo)體制造中的機(jī)器視覺應(yīng)用
半導(dǎo)體制造過程可以劃分為前、中、后三段。在這三段中，每一段制程，機(jī)器視覺都是必不可少的。
在前、中段過程中，機(jī)器視覺主要應(yīng)用在精密定位和檢測(cè)方面。沒有精密定位，也就不可能進(jìn)行硅片生產(chǎn)。 中段制程是半導(dǎo)體制程的最重要環(huán)節(jié)，與機(jī)器視覺相關(guān)的還有最小刻度測(cè)量。目前，后段制程則是機(jī)器視覺應(yīng)用非常廣泛的環(huán)節(jié)。后段制程主要涉及晶圓的電器檢測(cè)、切割、封裝、檢測(cè)等過程。晶圓在切割前必須使用機(jī)器視覺系統(tǒng)檢測(cè)出瑕疵，并打上標(biāo)記。檢測(cè)完畢切割過程中需要利用機(jī)器視覺系統(tǒng)進(jìn)行精確快速對(duì)準(zhǔn)定位，采用基于機(jī)器視覺技術(shù)的預(yù)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)具備很強(qiáng)的速度優(yōu)勢(shì)?；跈C(jī)器視覺的解決方案，只需要半秒鐘就能定位硅片中心并對(duì)準(zhǔn)切口。美國(guó)知名機(jī)器視覺廠商Cognex生產(chǎn)的智能相機(jī)In-Sight1820就有類似的應(yīng)用。切割過程開始后也要利用機(jī)器視覺進(jìn)行定位。如果定位出現(xiàn)問題，則可能整片晶圓會(huì)報(bào)廢。切割后的IC要保證在不互相接觸的前提下分裝到相應(yīng)的容器內(nèi)部，再繼續(xù)利用機(jī)器視覺系統(tǒng)找出非瑕疵品進(jìn)入封裝過程。封裝過程的機(jī)器視覺應(yīng)用目前在國(guó)內(nèi)外都很成熟，如大家所熟知的AOI（Automatic Optic Inspection）。
縱觀半導(dǎo)體制造前、中、后三段的視覺應(yīng)用，PC-Base機(jī)器視覺系統(tǒng)占據(jù)著很大的比重，這是因?yàn)镻C-Base系統(tǒng)對(duì)于設(shè)備完成復(fù)雜檢測(cè)需求及進(jìn)行二次開發(fā)的實(shí)施性最強(qiáng)。在設(shè)備設(shè)計(jì)初期如果考慮PC-Base視覺系統(tǒng)，其整合性也最強(qiáng)。另外，由于智能相機(jī)等嵌入式視覺系統(tǒng)本身發(fā)展的限制，其精度和速度還無法與PC-Base系統(tǒng)相比。就以相機(jī)為例，目前已經(jīng)進(jìn)入市場(chǎng)的工業(yè)相機(jī)最高分辨率已達(dá)到1600萬像素，智能相機(jī)最高也就200多萬像素。而半導(dǎo)體制造前段和中段對(duì)于圖像精度要求達(dá)200萬像素的相機(jī)很難實(shí)現(xiàn)，因此我們可以看到嵌入式視覺系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用中仍大多集中在后段部分。
電子制造業(yè)中的機(jī)器視覺應(yīng)用
按照通常的劃分方法，芯片在進(jìn)行1級(jí)封裝前的制造、檢測(cè)和封裝過程為半導(dǎo)體制造業(yè)，之后為電子制造業(yè)。機(jī)器視覺在電子制造行業(yè)的應(yīng)用更加廣泛，小到電容、連接器等元器件，大到手機(jī)鍵盤、PC主板、硬盤，在電子制造產(chǎn)業(yè)鏈條的各個(gè)環(huán)節(jié)，幾乎都能看到機(jī)器視覺系統(tǒng)的身影。機(jī)器視覺四大主要功能：檢測(cè)、定位（引導(dǎo)）、測(cè)量、讀碼都有很多實(shí)際的應(yīng)用案例。其中最突出的就是SMT貼片上的機(jī)器視覺應(yīng)用及AOI/AXI設(shè)備。首先，SMT在貼片過程中就會(huì)用到機(jī)器視覺及視覺定位系統(tǒng)的高精度、多功能SMT貼片機(jī)技術(shù)。它通過視覺識(shí)別系統(tǒng)對(duì)不同元件進(jìn)行視覺識(shí)別，能高速、高精度貼裝微小片狀元件、精細(xì)IC元件或異形元件。采用了視覺識(shí)別、定位技術(shù)的貼片機(jī)具有自動(dòng)化水平高，操作方便，運(yùn)行平穩(wěn)等特點(diǎn)。貼裝精度、識(shí)別元件范圍、貼裝速度等能符合電子行業(yè)高速、高質(zhì)量、零次品率的制造要求。SMT貼片技術(shù)目前在國(guó)內(nèi)已經(jīng)有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，如日東電子生產(chǎn)的SMT貼片機(jī)在電子組裝設(shè)備市場(chǎng)上已經(jīng)叫響，而日東與知名機(jī)器視覺企業(yè) — 漢王視覺在機(jī)器視覺軟件算法于SMT上的應(yīng)用的合作開發(fā)也進(jìn)行的如火如荼。近些年，隨著電路圖形的細(xì)線化等因素，SMT組裝質(zhì)量檢測(cè)與控制代替以往人工目視的AOI（自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)）的技術(shù)迅速發(fā)展起來。AOI是機(jī)器視覺技術(shù)與自控技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)綜合的檢測(cè)裝備，AOI一般由工作臺(tái)、電氣控制系統(tǒng)、CCD攝像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)四大部分構(gòu)成。
其中：CCD攝像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)是由機(jī)器視覺技術(shù)人員專門完成的。SMT當(dāng)中AOI具有PCB板檢測(cè)、焊膏印刷檢測(cè)、器件檢測(cè)、焊后檢測(cè)等功能。PCB板、焊后檢測(cè)一般是非實(shí)時(shí)性檢測(cè)，焊膏印刷和器件檢測(cè)則是與印刷機(jī)、貼片機(jī)相配套在一起進(jìn)行的高速實(shí)時(shí)的檢測(cè)。國(guó)外的AOI知名廠商很多，如Agilent、Orbotech等，最近，國(guó)內(nèi)也出現(xiàn)了眾多民族AOI品牌，其中最知名的就是Aleader，他們是將機(jī)器視覺技術(shù)能很好的應(yīng)用在AOI上為數(shù)不多的國(guó)內(nèi)廠商之一。AXI（自動(dòng)X射線檢測(cè)）與AOI在技術(shù)上的最主要的區(qū)別是：一個(gè)是X射線作為光源，另一個(gè)則更多使用可見光；另外，AOI一般檢測(cè)外部特征，AXI則通過X射線能檢測(cè)到一般可見光看不到位置的瑕疵并具有其它一些AOI無法完成的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。國(guó)內(nèi)企業(yè)在AXI上也有突破，在Nepcon2008華南展上，國(guó)產(chǎn)AXI已經(jīng)相繼推出。
在電子制造業(yè)，機(jī)器視覺應(yīng)用廣泛的另一領(lǐng)域就是連接器檢測(cè)。世界知名的連接器廠商如Molex、Tyco等的生產(chǎn)線上都有大量的機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)在運(yùn)行。其中，Molex更有自己一個(gè)獨(dú)立的自動(dòng)化部門，專門根據(jù)客戶要求及連接器各種技術(shù)變化情況，自行研發(fā)制造機(jī)器視覺檢測(cè)設(shè)備， 該部門從檢測(cè)需求到設(shè)備研發(fā)完畢，上線研發(fā)周期均很短，從而能保證Molex的連接器可以隨時(shí)根據(jù)客戶的要求而有相對(duì)應(yīng)的質(zhì)檢措施并能保證零瑕疵出廠。連接器制造流程主要分為沖壓、電鍍、注塑、裝配四個(gè)主要工藝流程，在四個(gè)流程當(dāng)中，每個(gè)環(huán)節(jié)都對(duì)連接器產(chǎn)品尺寸和質(zhì)量要求極為嚴(yán)格。比如Nokia對(duì)Molex生產(chǎn)的連接器要求為零次品率，即要求Molex提供給Nokia手機(jī)使用的連接器要求為100%都是合格品。而連接器大都體積非常小、精度高、制作工藝繁復(fù)、產(chǎn)品數(shù)量巨大、生產(chǎn)線運(yùn)行高速。如電鍍環(huán)節(jié)速度非?？欤羁炜蛇_(dá)到10米/分鐘。這就要求必須使用機(jī)器視覺技術(shù)對(duì)所有的生產(chǎn)產(chǎn)品在相應(yīng)環(huán)節(jié)過程中進(jìn)行測(cè)量和檢測(cè)，及時(shí)剔除不合格產(chǎn)品。
除了SMT貼片、AOI、連接器檢測(cè)外，電子行業(yè)的機(jī)器視覺應(yīng)用還有如：PCＢ底片檢查、硬盤檢測(cè)、鍵盤檢測(cè)、電子制造過程中的機(jī)器人視覺引導(dǎo)定位、元器件的在線分類篩選、二維碼讀取等各種應(yīng)用。近兩三年來，機(jī)器視覺技術(shù)在半導(dǎo)體及電子制造領(lǐng)域中呈現(xiàn)出了一些新的發(fā)展趨勢(shì)。首先是讀碼需求的日益增多。如半導(dǎo)體制造業(yè)，企業(yè)生產(chǎn)管理者不但要跟蹤整個(gè)硅片的生產(chǎn)過程，確保產(chǎn)品質(zhì)量，還要能通過二維碼等打標(biāo)技術(shù)將二維碼打到硅片及電子器件上的外殼<
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